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近日，山東理工大學(xué)微納結(jié)構(gòu)加工測(cè)試平臺(tái)通過(guò)專家組驗(yàn)收。該平臺(tái)作為目前國(guó)內(nèi)先進(jìn)的原子尺度表征的材料測(cè)試、分析、加工一體化平臺(tái)，可有效提升山東理工大學(xué)在微納結(jié)構(gòu)分析領(lǐng)域的影響力，為我校學(xué)科建設(shè)、科學(xué)研究、服務(wù)社會(huì)及人才培養(yǎng)提供強(qiáng)有力的技術(shù)保障。

驗(yàn)收會(huì)議上，專家組聽(tīng)取了項(xiàng)目開(kāi)展情況及設(shè)備到貨、安裝調(diào)試、試運(yùn)行及性能與技術(shù)指標(biāo)等相關(guān)匯報(bào)，查看了設(shè)備清單、儀器品牌、型號(hào)規(guī)格等資料，就儀器設(shè)備的性能參數(shù)指標(biāo)和功能實(shí)現(xiàn)情況進(jìn)行了質(zhì)詢，專家組認(rèn)為平臺(tái)設(shè)備的技術(shù)、性能指標(biāo)達(dá)到技術(shù)協(xié)議的要求，同意通過(guò)驗(yàn)收。微納結(jié)構(gòu)加工測(cè)試平臺(tái)是目前學(xué)?？們r(jià)值最高的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)一起來(lái)了解一下吧！平臺(tái)設(shè)備與價(jià)值

學(xué)校微納結(jié)構(gòu)加工測(cè)試平臺(tái)包括球差校正透射電鏡、超快透射電鏡、聚焦離子束顯微鏡、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡4臺(tái)設(shè)備，總價(jià)值為3449.15萬(wàn)元。

平臺(tái)設(shè)備功能球差校正透射電鏡為山東省第一臺(tái)配置雙球差校正器（聚光鏡和物鏡球差校正器）的透射電鏡，可以從亞原子尺度實(shí)現(xiàn)材料的微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)、微區(qū)成分分析。超快透射電鏡是在場(chǎng)發(fā)射高分辨透射電鏡的基礎(chǔ)上改造的全球獨(dú)有設(shè)備，可以在納秒時(shí)間內(nèi)觀察材料微觀形貌及晶體結(jié)構(gòu)。聚焦離子束顯微鏡可以對(duì)固體材料精細(xì)加工，也能實(shí)現(xiàn)透射電鏡樣品的定點(diǎn)制備，為透射電鏡提供高質(zhì)量的樣品，以獲得精密的結(jié)果。場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡可以實(shí)現(xiàn)固體材料的表面微觀形貌及元素分析。

微納結(jié)構(gòu)加工測(cè)試平臺(tái)的4臺(tái)設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)從微米到皮米尺度范圍的微觀形貌、結(jié)構(gòu)及成分分析，從而揭示物質(zhì)內(nèi)在顯微結(jié)構(gòu)與宏觀性能的關(guān)系。

硅的（110）取向，原子排列。拍攝條件為工作電壓300kV，放大倍數(shù)7.2Mx，HAADF-STEM模式，三階球差系數(shù)為-0.006mm，電子束匯聚半角為25.3mrad。

平臺(tái)實(shí)驗(yàn)室和人員配備情況

微納結(jié)構(gòu)加工測(cè)試平臺(tái)的4臺(tái)設(shè)備分別位于1號(hào)實(shí)驗(yàn)樓的1樓和負(fù)1樓，實(shí)驗(yàn)室面積近300平米。目前分析測(cè)試中心有掃描電鏡專業(yè)技術(shù)人員9人、透射電鏡專業(yè)技術(shù)人員5人，均具有博士學(xué)位，可為平臺(tái)設(shè)備的順利開(kāi)展提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)保障。平臺(tái)設(shè)備將于2023年上半年陸續(xù)投入使用。